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製品の紹介
品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):
分子式:CF4 分子量:88
成分
|
規(guī)範(fàn) |
単位 |
|
CF4 |
≥ |
99.98 |
%V |
空気 |
≤ |
100 |
ppmv |
H2O |
≤ |
10 |
ppmv |
CO2 |
≤ |
30 |
ppmv |
SF6 |
≤ |
10 |
ppmv |
その他のハロカーボン化合物 |
≤ |
30 |
ppmv |
酸度(HF) |
≤ |
0.3 |
ppmw |
性狀:
四フッ化炭素は永久気體です。常溫常圧には無色無臭気體です。空気には燃焼されなし、安定的な毒性なし物質(zhì)です。
用途:
四フッ化炭素は目前電子工業(yè)にのプラズマ エッチング ガスとして使用されて、使用量が第一です。広く電子部品の表面清潔、回路プリントの生産中の洗剤などに大量使用されています。
保存:
涼しくて、通風(fēng)良い、熱源を離れ、溫度が30℃以內(nèi)の倉庫に保存してください。フルボトルや空のびんが別れて保管してください。
運(yùn)送:
四フッ化炭素の運(yùn)送が「ボンベ安全監(jiān)査規(guī)程」の要求をかないます。
包裝:
特殊処理されの清潔で幹燥的なシームレスなガスボンベで包裝してください。容積が40L、12.5L、10L、8L、4Lなど、又は顧客さんからの要求通りに包裝できます。