分子式:SF6
分子量:146.05
項(xiàng) 目 |
國 標(biāo) |
六氟化硫(SF6)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-2 ≥ |
99.999 |
(氧+氬)(O2+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
2.0 |
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
2.0 |
四氟化碳(CF4)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
1.0 |
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
0.5 |
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
0.5 |
甲烷(CH4) 含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
0.5 |
水分(H2O)的(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤ |
3.0 |
酸度(以HF計(jì))的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10-6 ≤ |
0.1 |
可水解氟化物(以HF計(jì))的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10-6 ≤ |
0.8 |
雜質(zhì)綜合的體積分?jǐn)?shù)/10-6 ≤ |
10 |
顆粒 |
由供需雙方商定 |
性狀:
常溫常壓下為液態(tài),它是一種無色、無臭、無毒、無腐蝕性的氣體。熔點(diǎn)-50℃,升華點(diǎn)或沸點(diǎn)為-63.8℃,氣體密度6.16g/L(20℃,0.1MPa),在熔點(diǎn)時(shí)密度為2.51g/cm3,具有高的絕緣性和滅弧能力。
用途:
六氟化硫﹙SF6﹚是一優(yōu)良的惰性絕緣氣體,電子工業(yè)用六氟化硫氣體大量用于在電子器件表面清洗、在TFT行業(yè)中應(yīng)用量大。
貯存:
應(yīng)存放于陰涼干燥、通風(fēng)良好的地方。
運(yùn)輸:
長途運(yùn)輸時(shí)應(yīng)附有GB19-73《危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志》中指定標(biāo)志。氣瓶充裝系數(shù)不大于1.33kg/L。
包裝:
SF6應(yīng)充裝在潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中,氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可以根據(jù)用戶需要選用各種容積的氣瓶或其他容器。(一般情況下,使用氣瓶公稱壓力為15Mpa時(shí),充裝系數(shù)<1.37ka/L。﹚